山田光学工業株式会社は、高精度非球面反射鏡を専門とする光学メーカーです。

高輝度ハロゲン光源装置

　　　　　

高輝度ハロゲン光源装置は、半導体ウエハーおよび液晶基板の加工途中で最も
人手が掛る最終仕上面の異物、スクラッチ、研磨ムラ、ヘイズ、スリップ等の
様々な欠陥検出をするためのマクロ観察用照明装置です。

---

概要

　　1.　試料表面を400,000Lx以上に照明することができます。

　　2.　光源にはハロゲンランプを使用しているため色温度は高く、照明ムラが少なく
　　　　、非常に安定したシャープな照明となっています。

　　3.　コールドミラーの使用により熱の影響が従来のアルミミラーの1/3と極端に
　　　　少なくなっています。

　　4.　2段切換機構により、高照度観察、低照度観察をワンタッチで切換えることが
　　　　できます。
　　　　YP-150I・・・照度範囲　φ30
　　　　YP-250I・・・照度範囲　φ60
　　　　（YP-250Iはプロペラファン型とダクトファン型を選ぶことができます。）

---

仕様（PDF)