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楕円面反射鏡は一点から出た光を一点に集めることの最も効率の良い光学素子です。 反射系であるため波長依存性がありません。可視・UV増反射コートができます。
ソーラーシミュレータ 半導体・液晶・PDP・プリント基板製造用露光装置
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